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产品介绍
粉尘微粒可以利用HEPA 滤材去除，气态分子微污染物 (AMC) ，必须使用化学滤网过滤技
术，快速捕捉ppb等级分子大小之污染物，才可去除，特别适合无尘室超洁净度之控制，及适合超
微细制程、生化制药、半导体制程、光电制程等洁净室所需的清净度控制。
适用领域
●半导体业 ●电子业 ●光电业
●生化制药业 ●空调业 ●化工及石化业
●实验室 ●包装业 ●其它适合行业
主要优点
1.去除效率高。
2.使用寿命长。
3.低压损。
4.低发尘量。
5.低污染释出。
6.框架可重复用 – 环保产品友善环境。
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